Журнал науки о ядерной энергетике и технологиях производства электроэнергии

Изучение ионно-лучевой обработки с использованием различных материалов

А.Г. Хелал, Х. Эль-Хабири, С.И. Радван

Изучение ионно-лучевой обработки с использованием различных материалов

Было изучено моделирование обработки ионным пучком различных материалов мишени с использованием различных благородных газов. Моделирование проводилось с использованием однозарядных ионов неона, аргона и криптона при различных энергиях более 3 кэВ и до 10 кэВ. При моделировании использовался открытый исходный код SRIM 3D для определения проникающей способности ионного пучка в материал мишени, а также зависимости дальности от энергии пучка. Было изучено влияние атомного номера материала мишени на дальность проникновения ионов. Было определено распределение дальности и траектории ионов в материале мишени. Был определен выход распыления исследуемых материалов мишени из-за ионной бомбардировки, показав, что наибольший выход распыления достигается при использовании криптона в качестве рабочего газа для получения ионов, однако наименьший дальность имеет пучок ионов криптона.