Журнал наноматериалов и молекулярных нанотехнологий

Нанолитография

Нанолитография — это отрасль нанотехнологий, занимающаяся изучением и применением изготовления структур нанометрового размера и искусством травления, письма или печати на микроскопическом уровне. Размеры символов порядка нанометров. Инструменты, используемые в нанолитографии, включают сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) и атомно-силовой микроскоп (АТМ). СЗМ позволяет просматривать поверхность в мельчайших деталях без необходимости ее модификации. СЗМ или банкомат можно использовать для травления, записи или печати на поверхности в размерах одного атома. Нанолитография используется, например, при нанопроизводстве передовых полупроводниковых интегральных схем (наносхемотехника), для наноэлектромеханических систем (НЭМС) или практически для любого другого фундаментального применения в различных научных дисциплинах наноисследований. Эта технология может быть подходящей для использования в нанопроизводстве различных полупроводниковых интегральных микросхем (ИС), NEMS и для различных исследовательских приложений.