Журнал наноматериалов и молекулярных нанотехнологий

Деформация тонкой пленки ванадия, вызванная обработкой наносекундным лазером

Коцеди Л., Кавиярасу К., Фуку XG, Соне Б.Т. и Мааза М.

Деформация тонкой пленки ванадия, вызванная обработкой наносекундным лазером

Тонкое покрытие ванадия было выращено на стеклянной подложке с использованием вакуумной техники нанесения покрытий. Пьезоэлектрический толщиномер использовался для измерения толщины нанесенных покрытий in-situ. Затем слой ванадия был обработан наносекундным импульсным волоконным лазерным источником в условиях окружающей среды, и это привело к растрескиванию поверхности из-за рассеивания тепла от лазера. Было обнаружено, что плотность трещин увеличивается прямо пропорционально плотности потока лазерного излучения. Увеличение плотности трещин сопровождалось поверхностной модификацией слоя ванадия, что наблюдалось в сканирующем электронном микроскопе высокого разрешения. При более высокой плотности потока лазерного излучения на поверхности лазера образуются точечные отверстия, и это связано с лазерной перфорацией, происходящей в этих экспериментальных условиях.